在電鏡電極真空系統中，需要經常檢查機械旋轉泵和油擴散泵的油面，一旦發現油面下降應及時加油。旋轉泵若缺油不僅會磨壞軸套上的油封圈，而且對旋片端頭和內腔壁也可能會造成*性的損傷，使極限真空度下降。用真空計檢查真空度是必要的，但是隨著真空系統的自動化，有的電鏡為了降低成本，把某些真空計也省略掉了。為了提高真空系統的可靠性，延長各部件的使用壽命，對以下各點多加留意，以便能及時發現異常情況，隨時做好維護和保養的措施。